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OLED 물류

OLED Vacuum · N2 · CDA Transfer Automation Solution
​High Stability. Clean Control. Zero Compromise.
OLED TRANSFER SYSTEM
경쟁력

​OLED 공정에 최적화된
맞춤형 자동화 솔루션 제공합니다.
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Vacuum Control Engineering
  1. Turbo/ Rough Pump Interlock
  2. Leak Fail-safe Logic
  3. Pressure Ramp Control
  4. Vacuum Stability ±0.5%
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Gas Control (N₂ / CDA)
  1. MFC Precision Control
  2. PID Pressure Stabilization
  3. Auto Purge Optimization
  4. Particle Minimization Design
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Transfer & Motion
  1. Closed-loop Servo Control
  2. Substrate Shock Minimization
  3. Position Feedback Monitoring
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Data
  1. SECS/GEM Interface Ready
  2. Real-time Process Data Logging
  3. Equipment State Monitoring
  4. MES Connectivity Prepared​
Electrical Engineering

고청정 대응 전장 설계
PLC Automation

정밀 시퀀스 및 압력 제어
PC & Data System

​Recipe · Trace · MES 연동
Automation Specialist

​​OLED Vacuum & Gas Transfer 
​Automation Specialist
Point 1
기술 역량
  1. 전장 설계 및 제어반 제작
  2. PLC 기반 정밀 Sequence Control
  3. N₂ / CDA 압력 PID 제어
  4. SECS/ GEM 상위 시스템 연동
  5. Recipe & Traceability Data System
Point 2
기술 차별화
  1. Dual Interlock 기반 진공 보호 로직 적용
  2. Leak 발생 시 Safe Mode 자동 전환 알고리즘 내장
  3. MFC 기반 Gas Flow Precision Control
  4. Recipe 기반 Parameter 자동 적용 시스템
Point 3
적용 분야
  1. OLED 증착 설비
  2. Vacuum Transfer Module
  3. N₂ Purge System
  4. CDA Utility Distribution
OLED Transfer
System

  1. Dual Interlock 기반 진공 보호 로직 적용
  2. Leak 발생 시 Safe Mode 자동 전환 알고리즘 내장
  3. MFC 기반 Gas Flow Precision Control
  4. Recipe 기반 Parameter 자동 적용 시스템
  5. SECS/GEM Interface 대응 가능 구조
본 시스템은 OLED Vacuum Transfer 공정에 최적화된 PLC 기반 통합 자동화 시스템입니다.
진공 안정성 ±0.5% 이내 유지 구조 및 N₂/CDA 정밀 PID 제어를 통해 공정 수율 안정화를 목표로 설계되었습니다.
당사는 고청정 환경 대응 전장 설계 및 노이즈 최소화 구조를 적용하여 24시간 연속 운전이 가능한 안정적 시스템을 제공합니다.
진공 파괴, 압력 변동, Gas 이상 발생 시 단계별 인터락 구조로 설비 및 공정 보호를 우선합니다.